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在標準氣體制備和分析中，必須對有害氣體進行除害處理，以確保安全。

1.廢氣處理的基本原則和要求

廢氣處理的基本原則是，先將廢氣變成無毒、不燃的狀態，然后再進行廢物處理，一般要求是，盡量減少或避免對人體的危害和對環境的污染。

廢氣處理的幾種基本方法：1、燃燒法 2、吸收法 3、吸附法 4、稀釋法

（1）燃燒法

此法適用于處理各種可燃性氣體，它是將有害物質通過燃燒轉化成無害或危害少的物質，或者轉化成便于捕促的形式。燃燒法還可分為與空氣混合直接燃燒的方法和借助催化劑氧化的方法。

（2）吸收法

它適用于處理水溶性物質和與水反應的物質，也適用于處理一些溶于酸堿溶液或與酸堿溶液反應的物質，它是通過氣體和吸收劑的接觸把有害物質吸收到液相中，常見的吸收液有水、氫氧化鈉等堿的水溶液。氣液兩相接觸的方法有噴淋式和鼓泡式。

（3）吸附法

吸附法也叫干法，是用固體吸附劑吸附氣體中的有害成分。吸附劑因所吸氣體組分不同有多種多樣，有多孔質活性碳，氧化鋁凝膠、硅膠、硅藻土等。

（4）稀釋法

它是以氮或其它惰性氣體或空氣把廢氣中的有害成分含量稀釋后再排放的方法，這種方法比較簡單，對大多數氣體都適用。但從人類的長遠利益出發，最好不用此方法。