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氣體分析中有許多分析恒定氣體的方法，但常用的方法有氣相色譜法、化學發光法、非色散紅外光譜法和其他分析水和氧殘留物的方法。

1.氣相色譜法

氣相色譜法適用于分析無機氣體，如氫氣、氧氣、氮氣、氬氣、氦氣、一氧化碳和C3以上的大多數有機氣體，如甲烷、乙烷、丙烯。氣相色譜儀主要由氣路系統、進樣系統、柱恒溫箱、色譜柱、檢測器和數據處理系統組成。為了通過恒定氣體的氣相色譜分析獲得準確可靠的分析結果，必須首先確定分析方法，并選擇適當的操作條件和技術。

2.化學發光法

化學發光法是一種利用某些化學反應產生的發光現象的成分分析方法。它具有靈敏度高、選擇性好、操作簡單、速度快的特點。用于硫化物、氮氧化物、氨等標準氣體。

3.非色散紅外分析方法

分散紅外氣體分析儀利用各種氣室和探測器測量混合氣體中一氧化碳、二氧化碳、二氧化硫、氨、甲烷、乙烷、丙烷、丁烷、乙炔等成分的濃度。分散式紅外氣體分析儀主要由紅光源、樣品室、過濾器、切割器、檢測器、放大器和數據顯示裝置組成。

4. 其他分析方法

（1） 微量氧分析儀：在分析非常純的氣體時，幾乎所有的高純度氣體都需要準確測定孢子的氧含量。由于大氣中氧氣含量高（21%），精確測定非常純的氣體中的微量酸甚至微量酸是氣體分析的難點之一。

（2） 微波出水分析儀：微波出水也是評估高純度氣體質量的主要指標之一。幾乎所有的高純氣體都有嚴格的含水量要求，準確測量和嚴格控制高純氣體的含水量是保證高純氣體質量的必要條件。