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氣體簡介

乙硅烷是一種無機化合物，其化學式為Si2H6，在常溫常壓下為無色透明具有不愉快刺激臭的有毒氣體。它具有與硅烷類似的化學性質，但其反應性比硅烷更強。它比硅烷更不穩定，在室溫緩慢分解成硅烷和氫。在300～500℃分解成為SiH4、SinHm、H2，在光照下也分解。主要用于太陽能電池、感光轉筒、非晶硅膜、外延成長、氧化膜、氮化膜、化學氣相沉積等方面。

基本性質
乙硅烷為無色透明液體，在空氣中自燃，著火點低于室溫，遇到空氣即瞬間燃燒，并分解成為SiH4和H2。燃燒濃度范圍寬，濃度在0.2%以上時，燃燒發出火焰；濃度在0.2%以下時，進行氧化反應生成白色的SiO2。在氯氣中爆炸性地燃燒。與鹵素氣體爆炸性地反應，但如果是在低溫，則適度地進行鹵化。與SF6接觸則爆炸。與四氯化碳和氯仿激烈反應。與堿金屬及汞合金反應分解生成硅烷和氫。與苛性鉀作用游離出H2。與純水和酸不反應，但與堿反應生成硅酸鹽和氫。即使從玻璃中溶解出的那種程度微量堿的存在，也能使乙硅烷水解。在KH或LiCl雜質的存在下，在常溫也緩慢地分解。
Si2H6—→ SiH4+ (SiH2)x
乙硅烷可溶于二硫化碳、乙基醇、苯和乙基硅酸。它腐蝕橡膠、黃油類、潤滑油、鉛等，但對大多數金屬不腐蝕。

主要用途
1、用于太陽能電池、感光轉筒、非晶硅膜、外延成長、氧化膜、氮化膜、化學氣相沉積等方面。在太陽能電池生產中，用乙硅烷比用硅烷在非晶硅片上的沉積速度快得多，且溫度可降低200～300℃。 在離子注入中，以乙硅烷作離子源后易起輝、束流強，效果明顯好于用其他氣體作離子源。
2、在半導體工藝中用于外延和擴散工藝，也用于太陽能電池和電子照相用的感光鼓。